【福田昭のセミコン業界最前線】EUV露光による先端ロジックと先端DRAMの量産がついにはじまる - PC Watch

EUV(Extreme Ultra-Violet:極端紫外線)露光技術による先端ロジック半導体の量産が、ついにはじまった。今年(2018年)の10月に、Samsung ElectronicsがEUV露光技術を導入した7nm世代の半導体ロジックの生産を開始したと公式に発表した(Samsung、EUV 7nm LPPの開発が完了。ArF液浸露光から大幅コストダウン参照)。